2001年，刚从日本回国的李昕欣安顿好后的第一件事是去市场上跑了一圈。
作为中国科学院上海微系统与信息技术研究所（以下简称：上海微系统所）研究员，他到传感器生产厂家、用到传感器的仪器厂商调研了一番，带着一堆问题回到了实验室。接下来该怎么干，他心里大致有数了。
上海微系统所研究员李昕欣
“从应用中来，到应用中去”，李昕欣始终秉持这个理念，从MEMS产业一线寻找课题，将工业领域亟待突破的传感器需求提炼为科学问题，再以技术创新反哺产业发展。迄今他已带领团队申请发明专利200余项，其中数十项已实现成果转化并完成产品化落地。
把传感器做到科学仪器里去
多年在科研一线工作，李昕欣很早就认清了一个现实问题——高端科学仪器长期依赖进口。李昕欣强调，高端科学仪器是科研人员的重要工具，也是科学研究的源头，必须自主可控。
最初，李昕欣和团队只是希望做出一种高灵敏传感器，用于气体和爆炸物检测。随着研究深入，他们发现，这项技术可以进一步用于制备科学仪器。
经过十余年攻关，团队把路走通了。在微米尺寸的悬臂梁上，他们集成了程序升温、微机械谐振驱动和频率检测元件，实现了在快速升温中原位测量化学反应或表面吸附引起的微小质量变化，分辨能力优于1皮克。
超灵敏原位变温测量微悬臂梁MEMS芯片技术
“这项发明首次实现超高灵敏度原位测量，使原来测不到的测到了、测不准的测准了，分析时长从数天缩短至数小时。”李昕欣说，“基于该技术，原来相互独立的吸附分析仪和热分析仪功能，可在一台仪器中全部实现，根本性地改变了以往分析仪器分类格局。”
基于微悬臂梁MEMS芯片发明的系列高端科学仪器已实现产品化应用推广
令李昕欣自豪的是，该国产高端科学仪器实现了“反向出口”，售往多家海外著名科研机构，支撑产出了一系列重要研究成果。
正因为亲身参与其中，李昕欣对高端科学仪器研发的战略意义有更深切的体会：高端科学仪器的自主研发需要举国体制的有力支撑。
“高端科学仪器研发周期长、市场规模小、投资回报慢，却事关国家创新体系的底座，意义深远。”李昕欣表示。
享受科研“胜利”的快乐
成长为我国MEMS及传感器技术领域的知名学者，李昕欣的求学之路很关键。
1982年，17岁的李昕欣以优异成绩考入清华大学无线电电子学系。本科毕业后，他进入原机械部沈阳仪器仪表工艺研究所工作。几年下来，他一度感到迷茫：自己真正想做的，究竟是什么？
考虑再三后，李昕欣决定再拼一次。1991年底，李昕欣背着行李来到上海备考。之后的3个月里，他一边上突击班，一边埋头复习，硬是把多年未碰的课程重新捡了起来。最终，他顺利考入复旦大学，师从鲍敏杭教授。
在复旦大学读书期间，李昕欣并不满足于“跟着导师做课题”，而是主动调研、构思选题、撰写实验方案，努力说服导师支持自己的想法。每当他在研究中遇到挫折而苦恼时，导师就提醒他“这是你自己想做的，不能退缩”。 李昕欣没有让导师失望，在博士毕业时，做出了国内第一个MEMS陀螺仪。
这段科研训练奠定了李昕欣后续的科研价值观。“我不愿做别人‘嚼’过的。”李昕欣对科研选题的判断标准，除了创新性，还有未来应用潜力，以及当下是否具备解决的可能性。
在这一理念牵引下，李昕欣在传感器领域持续深耕。从横向看，团队研究方向涵盖了物理传感器、生化传感器、MEMS和微纳传感器技术等不同场景；从纵向看，团队既重视论文和原创突破，也积极推动成果转化和产业应用，工作链条贯穿硅片制备、器件加工到应用推广等多个环节。
牵头做这么一大摊子的事情，要说没有压力是不可能的。李昕欣指了指满头的白发说：“好几次被人问退休几年了。”
他更常提到的是感恩。“我体会到了各种科研‘胜利’果实带来的喜悦。”李昕欣说，“我们这一代人很幸运，没有经历过战乱与饥饿，求学阶段得到了国家的培养，追求事业的时候又迎来了国家的高速发展，有了自我实现的舞台。”
“希望他们走得比我更远”
“目前，人们往往对‘用传感器’感兴趣，而缺乏对‘做传感器’的关注。”李昕欣始终认为，推动这一领域发展，既要做出成果，也要培养能够持续接力的人。
对于学生培养，李昕欣有自己的一套标准。
“我不喜欢引导他们去做什么，因为我们的想法难免有些保守，未必是好的。”他认为，年轻一代未来做什么，应当由他们自己判断、选择，前辈能做的是提供帮助和支持。
不过，想法可以发散，基本功必须扎实。学生汇报时，如果坐标轴不对、单位不规范、文字语法有问题……李昕欣会立刻打断，让对方回去检查确认后再讨论。“他们也了解我的脾气，知道我对事不对人。”李昕欣笑道。
在他看来， 科研训练最终指向的是具备独立思考能力。他希望学生在博士毕业前，不仅能高质量完成既有课题，还能自主提出一个新课题。这意味着这名学生已经成长为独立的科研工作者。
这样的学生，在李昕欣团队不在少数。他带出的学生中，有人加入高校或科研机构，成为国家相关领域的领军人才；有人进入产业界，迅速成为技术骨干；也有人带着实验室里的原创技术，走向产业一线。
“我希望他们发展得比我更好，走得比我更远。”李昕欣说。
原创文章，作者：梁雪莹，如若转载，请注明出处：http://m.gaochengzhenxuan.com/resou/19389.html
